
… MEMS 공정용 장비 3대 이전, 국가 나노팹 연구개발 인프라 강화
… 나노종합기술원 및 나노융합기술원의 시제품 제작 지원
DB하이텍이 국가 나노팹 통합 플랫폼 모아팹(MoaFab)의 반도체 공정지원 역량 강화를 위해 협력에 나섰다.
DB하이텍은 6일 충북 음성 소재 상우캠퍼스에서 과학기술정보통신부 및 모아팹 관계자들과 반도체 장비 이전 협약식을 개최했다고 밝혔다.
이번 협력은 지역별 국가 나노팹 간 연계를 추진하는 모아팹의 경쟁력 강화를 위해 마련됐다. 앞서 과학기술정보통신부와 삼성전자·SK하이닉스·DB하이텍 등 반도체 기업 3개사는 지난해 3월 모아팹 경쟁력 강화를 위한 업무협약(MOU)을 체결한 바 있다.
DB하이텍은 자사가 보유한 MEMS 공정용 장비 3대(Furnace/고온 열처리 1대, Etch/식각 2대)를 지원하기로 했다. 해당 장비는 모아팹 참여기관인 나노종합기술원과 나노융합기술원의 연구개발 및 시제품 제작 등 공정 지원 환경 개선에 활용될 예정이다. 회사는 국내 반도체 연구개발 인프라 확대에 기여할 것으로 기대하고 있다.
행사에는 과학기술정보통신부, DB하이텍, 모아팹 주요 관계자 등 30여 명이 참석했으며, 협약식 이후에는 모아팹 운영 및 활용 방안에 대한 간담회와 팹투어가 진행됐다.
DB하이텍 관계자는 "이번 MEMS 공정용 장비 기증을 통해 국가 나노팹에 대한 지원을 확대하고, 앞으로도 반도체 제조기술과 팹 운영에 필요한 자문을 지속적으로 제공하는 등 국내 시스템반도체 경쟁력 제고에 기여할 수 있도록 노력하겠다"고 밝혔다. (끝)
[용어] MEMS: Micro-Electro-Mechanical Systems/미세전자기계시스템
첨단 반도체 제조공정을 기반으로 하는 나노 단위의 초소형 정밀기계 제작기술
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